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|  | II 熊本県地域結集型共同研究事業の総括 |
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| | III 事業報告 |
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| | 1. 事業概要 |
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| | 2. 事業実施報告 |
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| | 3. 共同研究実施報告 |
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| | | 超精密高速ステージ開発
ステージ制御応用技術開発 | 48-49
| | | 小坂 光二, 馬場 哲郎, 岩渕 哲也, 江頭 義也, 森園 靖治, 須川 成利, 平山 昌樹, 井上 知行, 高木 宏司, 山川 孝宏, 松野 晋, 渡辺 雅幸, 宮田 昇, 萬矢 晃庸, 永本 恵一, 大石 潔, 森山 司朗, 佐々木 俊一, 橋本 誠司, 井戸 泰男, 坂本 博宣 | | | [抄録] [PDF (23K)] |
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| | | 超精密高速ステージ開発
ステージ制御応用技術開発(その2: 半導体電気計測のためのナノプローブ技術の開発) | 49-50
| | | 中田 明良, 小坂 光二, 小坂 哲也, 岩渕 哲也, 馬場 哲郎, 加納 竹志, 荒尾 淳, 井上 知行, 岩根 宏, 前田 安浩, 高木 宏司 | | | [抄録] [PDF (23K)] |
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| | | 超精密高速ステージ開発
高出力圧電素子技術開発 | 51-52
| | | 宮田 昇, 山川 孝宏, 松野 晋, 渡辺 雅幸, 萬矢 晃庸, 小坂 光二, 岩淵 哲也 | | | [抄録] [PDF (21K)] |
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| | | 超精密高速ステージ開発
ステージ軽量化技術開発 | 52-53
| | | 森山 司朗, 佐々木 俊一, 廣瀬 正孝, 石井 守, 梅津 基宏, 小坂 光二, 岩淵 哲也, 東町 高雄 | | | [抄録] [PDF (21K)] |
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| | | 超精密高速ステージ開発
ステージ軽量化技術開発(その2: 次世代30m級天体望遠鏡用鏡材の開発) | 53-54
| | | 森山 司朗, 佐々木 俊一, 廣瀬 正孝, 石井 守, 梅津 基宏 | | | [抄録] [PDF (22K)] |
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| | | 計測技術開発
3次元形状計測手法開発 | 54-55
| | | 山崎 裕一郎, 鈴木 等, 阿部 和夫, 木村 浩二, 鶴我 靖子, 岡田 真一, 小坂 光二, 中田 明良 | | | [抄録] [PDF (23K)] |
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| | | 計測技術開発
高速LSIテスト | 55-56
| | | 神立 信一, 佐々木 守, 福迫 武, 石松 賢治, 金沢 守道, 長畑 博之, 鈴木 幸三郎 | | | [抄録] [PDF (22K)] |
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| | | デバイス形成技術開発
プラズマ異常放電監視法開発 | 57-58
| | | 児玉 昭和, 八坂 三夫, 北村 智行, 田間 政義, 竹下 正吉, 岡村 浩治, 上杉 文彦, 伊藤 奈津子, 板垣 洋輔, 萩原 宗明, 宮川 隆二 | | | [抄録] [PDF (21K)] |
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| | | デバイス形成技術開発
プラズマ異常放電監視法開発(その2: すばる主鏡傷検出システム) | 58-59
| | | 久保田 弘, 園田 増雄, 重森 清史, 石松 賢治, 宮川 隆二, 中田 明良, 家 正則, 沖田 喜一, 佐々木 敏由紀, 宮下 暁彦, 高遠 徳尚 | | | [抄録] [PDF (22K)] |
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| | | デバイス形成技術開発
レジスト塗布・現像プロセス開発 | 60-61
| | | 吉岡 和敏, 小山 義文, 北野 高広, 竹下 和宏, 鏡 裕行, 河田 敦, 宮川 隆二 | | | [抄録] [PDF (22K)] |
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| | | デバイス形成技術開発
次世代実装対応めっき技術研究開発 | 61-62
| | | 土岐 荘太郎, 萩原 宗明, 安田 敬一郎, 新宮原 正三, 石松 賢治, 古屋 明彦, 若杉 雄彦, 福迫 武, 馬場 知幸, 杉村 正彦, 脇坂 康尋, 筑間 光靖, 徳田 博 | | | [抄録] [PDF (23K)] |
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| | | デバイス形成技術開発
液晶輝度ムラ検査装置開発 | 62-63
| | | 山川 昇, 田口 智弘, 大隈 義信, 上村 直, 大隈 恵治, 黒木 卓也, 園田 頼信, 小山 善文 | | | [抄録] [PDF (22K)] |
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| | | デバイス形成技術開発
膜厚ムラ検査装置開発 | 64
| | | 藤井 敏夫, 相川 創, 井上 知行, 中田 明良, 北野 高広, 宮川 隆二 | | | [抄録] [PDF (16K)] |
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| | | デバイス形成技術開発
微細加工・計測技術開発(レチクルフリー露光技術開発) | 65-66
| | | 中村 一光, 林 直毅, 森本 達郎, 井口 恒夫, 占部 憲治, 八重津 真彬, 相川 創, 小坂 光二, 小坂 哲也, 高山 良則, 澤山 善治, 直原 正人, 鈴木 信二, 若杉 雄彦, 中田 明良 | | | [抄録] [PDF (19K)] |
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| | 4. 成果移転活動報告及び今後の予定 |
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| | 5. 都道府県支援報告及び地域波及効果報告 |
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| | 6. 中核機関活動の報告 |
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| | IV 成果報告 |
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| | 1. 地域COE構築に関する報告 |
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| | 2. 新技術・新産業の創出に関する報告
別冊「新技術・新産業の創出に関する報告書」に記載 |
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| | 3. 成果活用に関する報告 |
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| | V その他 |
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| | 1. 周辺技術動向、パテントマップ、技術マップ |
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| | 2. 成果一覧 |
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| | 3. 参加者一覧 |
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| | あとがき |
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