Provider: Japan Science and Technology Agency Database: J-STAGE Content:text/plain; charset="utf-8" TY - JOUR TI - 種々の反応性真空アーク蒸着装置によるアモルファス酸化チタン膜の生成 TI - AU - 滝川,浩史 AU - 松井,健晃 AU - 宮野,竜一 AU - 榊原,建樹 AU - Bendavid,Avi AU - Martin,Philip J. JO - 電気学会論文誌. A, 基礎・材料・共通部門誌 VL - 119 IS - 10 SP - 1243 EP - 1248 PY - 1999 DO - 10.1541/ieejfms1990.119.10_1243 ER -