Provider: Japan Science and Technology Agency Database: J-STAGE Content:text/plain; charset="utf-8" TY - JOUR TI - II.プラズマ高周波加熱装置のシステム構成と要素機器 TI - AU - 永島,孝 JO - 電氣學會雜誌 VL - 108 IS - 7 SP - 616 EP - 618 PY - 1988 DO - 10.11526/ieejjournal1888.108.616 ER -