@article{黒河 周平2017, title={【プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会】技術のサイエンス化と世界をリードする産業の発展に寄与することを目指して}, author={黒河 周平 and 檜山 浩國 and 近藤 誠一}, journal={精密工学会誌}, volume={83}, number={10}, pages={912-916}, year={2017}, doi={10.2493/jjspe.83.912} }