@article{20051201, title={【マイクロ/ナノシステム研究専門委員会】マイクロ/ナノシステム}, author={堀江 三喜男}, journal={精密工学会誌}, volume={71}, number={10}, pages={1201-1204}, year={2005}, doi={10.2493/jjspe.71.1201} }