@article{中村 友哉2017, title={シリコンナノワイヤ製ねじれ梁を用いた静電櫛歯駆動 MEMS ミラーの作製}, author={中村 友哉 and 平井 義和 and 土屋 智由 and 田畑 修}, journal={マイクロ・ナノ工学シンポジウム}, volume={2017.8}, number={ }, pages={PN-133}, year={2017}, doi={10.1299/jsmemnm.2017.8.PN-133} }