Provider: Japan Science and Technology Agency Database: J-STAGE Content:text/plain; charset="utf-8" TY - JOUR TI - 大気圧低温プラズマを用いたZnO薄膜の作製 TI - AU - 須崎,嘉文 AU - 江島,正毅 AU - 鹿間,共一 AU - 田中,治 AU - 梶谷,孝啓 AU - 鯉沼,秀臣 JO - 材料 VL - 51 IS - 10 SP - 1160 EP - 1163 PY - 2002 DO - 10.2472/jsms.51.1160 ER -