@article{2006, title={走査型プローブ顕微鏡によるシリコン酸化膜の経時絶縁破壊測定}, author={安江 孝夫 and 河合 晃}, journal={表面科学}, volume={27}, number={4}, pages={245-248}, year={2006}, doi={10.1380/jsssj.27.245} }