@article{渡部 平司2012, title={熱酸化SiO2/SiC界面原子構造と界面電気特性の評価}, author={渡部 平司 and 細井 卓治}, journal={表面科学}, volume={33}, number={11}, pages={639-644}, year={2012}, doi={10.1380/jsssj.33.639} }