Provider: Japan Science and Technology Agency Database: J-STAGE Content:text/plain; charset="utf-8" TY - JOUR TI - 真空アーク蒸着法によるダイヤモンド様炭素成膜における巨視的プロセス特性の陰極素材依存性 TI - AU - 南澤,伸司 AU - 宮川,伸秀 AU - 滝川,浩史 AU - 榊原,建樹 AU - 窪島,隆一郎 AU - 椎名,祐一 JO - 真空 VL - 47 IS - 3 SP - 200 EP - 203 PY - 2004 DO - 10.3131/jvsj.47.200 ER -