@article{2007490, title={Kinetic Monte Carlo法によるAl薄膜成長における島形成過程の解析}, author={山本 昌裕 and 國澤 康平 and 藤並 明徳 and 尾方 成信 and 渋谷 陽二}, journal={日本機械学会論文集 A編}, volume={73}, number={728}, pages={490-497}, year={2007}, doi={10.1299/kikaia.73.490} }