Provider: Japan Science and Technology Agency Database: J-STAGE Content:text/plain; charset="utf-8" TY - JOUR TI - DCプラズマドーピング法 TI - 高キャリア濃度p+層の形成 AU - 原,徹 AU - 品田,清隆 JO - 応用物理 VL - 63 IS - 11 SP - 1153 EP - 1154 PY - 1994 DO - 10.11470/oubutsu1932.63.1153 ER -