@article{19961218, title={ウルトラクリーンプロセスと薄膜磁気記録媒体-ハードディスクを例として}, author={高橋 研}, journal={応用物理}, volume={65}, number={12}, pages={1218-1228}, year={1996}, doi={10.11470/oubutsu1932.65.1218} }