Provider: Japan Science and Technology Agency Database: J-STAGE Content:text/plain; charset="utf-8" TY - JOUR TI - エアロゾルデポジション法の電子デバイスへの応用展開 TI - AU - 明渡,純 JO - 表面技術 VL - 56 IS - 10 SP - 580 EP - 580 PY - 2005 DO - 10.4139/sfj.56.580 ER -