@article{田中 詩乃2021, title={Cu配線上への無電解パラジウム/金めっきに及ぼすPd触媒付与溶液中の添加剤の影響}, author={田中 詩乃 and 加藤 友人 and 渡邊 秀人 and 吉田 曉弘 and 郡司 貴雄 and 松本 太}, journal={表面技術}, volume={72}, number={1}, pages={43-49}, year={2021}, doi={10.4139/sfj.72.43} }