Provider: Japan Science and Technology Agency Database: J-STAGE Content:text/plain; charset="utf-8" TY - JOUR TI - 高周波プラズマCVD法によって形成された酸化ケイ素膜のガス透過性 TI - AU - 並木,恒久 AU - 平川,叙夫 JO - 表面技術 VL - 45 IS - 12 SP - 1270 EP - 1275 PY - 1994 DO - 10.4139/sfj.45.1270 ER -