Provider: Japan Science and Technology Agency Database: J-STAGE Content:text/plain; charset="utf-8" TY - JOUR TI - 鉄粉層内蔵ばね型アクチュエータを用いたリニア平面位置制御機構の開発 TI - AU - 藤中,哲也 AU - 長屋,幸助 AU - 坂本,直也 AU - 鹿島,健作 JO - ばね論文集 VL - 2008 IS - 53 SP - 37 EP - 43 PY - 2008 DO - 10.5346/trbane.2008.37 ER -