レーザ援用微粒子ジェット法により樹脂基板に導線を平坦に埋込する技術の開発

天田財団助成研究成果報告書

Online ISSN : 2434-4028
Print ISSN : 2434-0723

1. 2. 2　一般研究開発助成＜レーザプロセッシング＞

鈴木勝彦

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キーワード: レーザ, 微粒子, 平坦溝

研究報告書・技術報告書フリー

2016 年 29 巻 p. 185-189

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