Effect of sputtering geometry on (1120) textured ZnO piezofilm

Acoustical Science and Technology

Online ISSN : 1347-5177
Print ISSN : 1346-3969
ISSN-L : 0369-4232

ACOUSTICAL LETTERS

Effect of sputtering geometry on (1120) textured ZnO piezofilm

Yoshinori Miyamoto, Takahiko Yanagitani, Mami Matsukawa, Yoshiaki Watanabe

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キーワード: Piezoelectric film, Sputtering, Crystallite alignment, Zinc oxide

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2006 年 27 巻 1 号 p. 53-55

DOI https://doi.org/10.1250/ast.27.53

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© 2006 by The Acoustical Society of Japan

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