抄録
情報社会の発展により、光インタコネクションの実現が迫られてきている。光インタコネクションを実現するには、光導波路や光素子を効率よく配置する必要がある。そのため、光の進行方向を90度曲げる、90度光路変換技術が用いられている。90度光路変換には、光導波路をダイシングブレードで一括切断し、45度ミラー面を作製する方法がある 。しかし、この方法を用いると、所望の光線路以外も切断され、配線の自由度が低くなってしまう。そこで今回は、配線の自由度を向上させるために、Ｖ溝カット光導波路を自己形成光導波路を用いて接続した。また、レーザの照射強度を変化させ、自己形成光導波路コアサイズの制御を試みたので報告する。
