外部のアクチュエータによるレーザーディスプレイへの利用可能な小型ミラーの開発を行った。製法誤差に基づく個体差の低減と、ミラーの振動モードの独立性を考慮して、2軸トーションミラーの設計および製作を行った。製造工程を低減することをねらい、駆動はミラー構造に後付した圧電素子により励振駆動するものとした。また、駆動精度の向上を目的に、ミラーの振幅を一定にする機構として、駆動領域端にストッパーとなる構造を後から設置した。ミラーとストッパーのアセンブリは専用に製作した治具により行った。デバイスの大きさは受光部分が1mm×1mm、ハンドリング部分を含めた大きさは7mm×7mmである。製作したミラーの共振周波数の測定を行ったが高速軸7.5kHz、低速軸192Hzであった。またストッパーによる効果として、ストッパーとミラー間の距離で振幅の最大値を規定することができ、そのときの振動の位相を測定した。
