Auスパッタ膜を介した表面活性化接合を用いた垂直配向カーボンナノチューブとAu薄膜の接合と転写

抄録

前回、前々回とAr-FAB照射によってCNTとAu薄膜の接続抵抗を低減させることに成功したが、Auプラズマスパッタ膜をCNT上に形成することによって、Au薄膜との接続抵抗の更なる低減下が実現した。