積層セラミックコイルを用いたMEMSロータリーアクチュエータの作製

抄録

MEMS技術と積層セラミック技術を組み合わせたMEMSロータリーアクチュエータを作製したので報告する。作製したアクチュエータは回転部分をMEMS技術で形成した電磁誘導型のアクチュエータであり、コイル部に積層セラミックコイルを用いる構造である。従来の電磁アクチュエータには巻線コイルを用いるが、小型化に際してヘリカルコイルの形成が困難であった。積層セラミック技術はセラミック内部に三次元配線を形成可能なことからヘリカル構造の小型コイルを作製することに適している。本稿ではアルミナセラミックのLTCCを用いたヘリカルコイルと2極の円形磁石を用いて1cm角の三相交流型MEMSロータリーアクチュエータを作製し、回転実験を行った。