電気・熱・応力連成モデルによるパワーモジュールにおけるエレクトロマイグレーション劣化解析

抄録

電気・熱・応力に起因した、エレクトロマイグレーションによる接合材の劣化について、電気・熱・応力連成シミュレーションにより評価した。その際、電流による部材のジュール発熱に伴う熱ひずみ、および、金属原子のマイグレーションによる応力・ひずみへの影響を考慮した。連成解析の結果から、電流・温度・応力による接合材への影響を分析した。