電気学会論文誌Ｃ（電子・情報・システム部門誌）
Online ISSN : 1348-8155
Print ISSN : 0385-4221
ISSN-L : 0385-4221
STMによる精密三次元表面計測
水谷 亘, 阪東 寛, 渡辺 和俊, 小野 祐一, 岡山 重夫, 徳本 洋志, 村上 寛, 岡野 真, 遠藤 和弘, 脇山 茂, 坂井 文樹, 小野 雅敏, 梶村 皓二
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1987 年 107 巻 7 号 p. 648-653

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