Si-SiCセラミックス複合体のイオナイザ用エミッタへの応用

電気学会論文誌Ｃ（電子・情報・システム部門誌）

Online ISSN : 1348-8155
Print ISSN : 0385-4221
ISSN-L : 0385-4221

Si-SiCセラミックス複合体のイオナイザ用エミッタへの応用

岡野一雄, 中野亜求了

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キーワード: クリーンルーム, 静電気, イオナイザ, Si-SiCセラミックス複合体

ジャーナルフリー

1995 年 115 巻 12 号 p. 1562-1563

DOI https://doi.org/10.1541/ieejeiss1987.115.12_1562

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