反応性真空アークプラズマ診断用加熱形プローブ

電気学会論文誌Ａ（基礎・材料・共通部門誌）

Online ISSN : 1347-5533
Print ISSN : 0385-4205
ISSN-L : 0385-4205

反応性真空アークプラズマ診断用加熱形プローブ

滝川浩史, 松尾廣伸, 榊原建樹

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キーワード: 反応性真空アークプラズマ, 絶縁性膜, 導電性膜, 加熱形プローブ, 加熱電流, 加熱温度

ジャーナルフリー

1991 年 111 巻 11 号 p. 1025-1026

DOI https://doi.org/10.1541/ieejfms1990.111.11_1025

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