電気学会誌
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特集:産業機器を支える制御技術—精密サーボ技術の実際—
FPD露光装置と精密サーボ技術
坂田 晃一
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2017 年 137 巻 1 号 p. 19-22

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抄録

1.はじめに

本稿では,FPD露光装置(Flat Panel Display:FPD)の成り立ちから要求項目,その特徴を,折に触れて半導体露光装置と対比しながら説明する。次にFPD露光装置を構成する主要ユニットを要求項目に絡めながら紹介していく。続いて,各主要ユニットで活用されている精密サーボ

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