解説
ファインバブル技術とその開発動向
─半導体洗浄，ウェーハ搬送，植物工場等─
2018 年 138 巻 7 号 p. 430-434
詳細
2018 年 138 巻 7 号 p. 430-434
1．はじめに
ファインバブル技術は，従来は，数十ミクロン以下の小さい気泡直径の主に空気泡を使って，池や河川の環境浄化や鉱山で金属を採掘する浮遊選鉱法等に利用されてきた技術であるが，近年，注目されてきている理由は，裸眼で見えない直径1 μm未満の空気のウルトラファインバブル
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