電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）
Online ISSN : 1347-5525
Print ISSN : 1341-8939
部門記事
研究室だより：東北大学　マイクロシステム融合研究開発センター
江刺 正喜
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130 巻 (2010) 11 号 p. 553-554

DOI https://doi.org/10.1541/ieejsmas.130.553
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