電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)
Online ISSN : 1347-5525
Print ISSN : 1341-8939
ISSN-L : 1341-8939
論文
準平行平板型静電トーションミラーの等価回路モデル
丸山 智史三田 信諫本 圭史鄭 昌鎬藤田 博之年吉 洋
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2012 年 132 巻 4 号 p. 77-85

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抄録

An equivalent circuit model for the semi-parallel plate electrostatic torsion mirror has been developed based on the electrical circuit simulator. An analytical model for the electrostatic torque has been translated into a nonlinear dependent current source as a function of input voltages that interpret the drive voltages and the mirror angle. A use of the suspension width as a fitting parameter explained well the experimental results of frequency response and the mirror's static deflection.

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© 電気学会 2012
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