電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)
Online ISSN : 1347-5525
Print ISSN : 1341-8939
ISSN-L : 1341-8939
論文
宇宙用慣性駆動型マイクロアクチュエータ
三田 信安宅 学藤田 博之年吉 洋
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ジャーナル 認証あり

2012 年 132 巻 5 号 p. 96-102

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抄録

We have developed an inertia-driven micro actuator for harsh environment of space. Different from the conventional PZT-driven or other actuators, the newly developed electrostatic mechanism is free from the material property change due to temperature. A mass suspended in the actuation system is designed to collide with the internal wall to give thrust by the impact-type inchworm mechanism.

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© 電気学会 2012
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