電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)
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論文
電気回路シミュレータを用いたMEMS電圧-周波数変換器のシミュレーション
三田 信丸山 智史安宅 学年吉 洋
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2012 年 132 巻 7 号 p. 189-194

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抄録

An electrostatic micro actuator with an electrical contact between the electrodes is known to show a limit-cycle behavior due to the combination of electrostatic pull-in and release. We newly used an electrical circuit simulator to make an equivalent circuit model to reproduce the limit-cycle by multi-physics simulation. This simulation results were found to explain the experimenntally observed behavior of the developedMEMS voltage to frequency convertor (VFC).

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© 2012 電気学会
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