電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)
Online ISSN : 1347-5525
Print ISSN : 1341-8939
ISSN-L : 1341-8939
論文
多層塗布による高精度厚膜スプレーコート法の開発
赤松 幹夫寺尾 京平高尾 英邦下川 房男大平 文和鈴木 孝明
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ジャーナル 認証あり

2013 年 133 巻 5 号 p. 170-176

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抄録

In this paper, we propose a high-accuracy spray coating method for obtaining the thick photoresist over 200μm. A multi-layered coating method with thin photoresist layers is applied in order to achieve a thick photoresist. We evaluated the waviness and the reproducibility of the thickness of the photoresist coated on a flat substrate. The multi-layered spray coating method with the edge cover achieves high accuracy thickness of the photoresist with covering wide-range of the target thickness.

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© 2013 電気学会
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