電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)
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特集論文
コンパクトモデル・マクロモデルによるMEMS/電子回路の連成シミュレーション
望月 俊輔水田 千益
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2014 年 134 巻 11 号 p. 349-356

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抄録

We report electro-mechanical coupled analysis using compact models and macromodels. Mechanical and electro-mechanical compact models are inserted directly to a circuit simulator. In addition, macromodels for MEMS devices are extracted using Lagrangian-based energy method and the results of finite element (FE) or boundary element (BE) simulations. These models are verified by comparing the results of circuit simulations with those of experiments or FE/BE coupled simulations.

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© 2014 電気学会
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