Siダイオードアレイターゲットによる高エネルギー電子線撮像

抄録

Siターゲットビジコンの高エネルギー電子線に対する量子効率の解析を行ない, また厚さの異なるターゲットを試作して電子顕微鏡を用いてその特性を測定した.電子線エネルギー200～1000keVの範囲で, 3000～9000という高い電流利得を観測した.解析結果から半定量的ではあるが, 測定結果を説明できることを確かめた.