マイクロマシン技術

テレビジョン学会誌

Online ISSN : 1884-9652
Print ISSN : 0386-6831
ISSN-L : 0386-6831

マイクロマシン技術

北原時雄

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ジャーナルフリー

1993 年 47 巻 7 号 p. 965-971

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抄録

マイクロマシン技術について, その概要を述べ, 主要な要素技術の研究開発状況を紹介する.さらに, 各国が進めている研究開発プロジェクトについて, 通商産業省の大型プロジェクト「マイクロマシン技術の研究開発」等を中心に紹介する.

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