マイクロカンチレバー上に形成した金属膜の機械的共振周波数への影響

映像情報メディア学会誌

Online ISSN : 1881-6908
Print ISSN : 1342-6907
ISSN-L : 1342-6907

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ジャーナルフリー

1997 年 51 巻 5 号 p. 733-736

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抄録

マイクロカンチレバー上に形成した金属膜の機械的共振周波数への影響に関して検討した.片持組合せ梁のモデルを用いて導出した式の計算値と試作した複合構造のマイクロカンチレバーの測定共振周波数がほぼ一致し, 最高1.07MHzの共振周波数を実現した.

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