ユニット型ゼロパワー磁気浮上式除振装置の開発

荷重支持機構を備えた除振ユニットの開発

抄録

本研究では、荷重支持機構を導入したユニット型アクティブ除振装置を開発する。ゼロパワー制御での1自由度除振ユニットの実験を行い諸特性を取った。実験より直動外乱に対して高い剛性が得られた。