空気ばね除振装置の低固有値化手法

圧力微分フィードバックの限界と逆テーパ付き空気ばねのモデル考察

抄録

半導体露光装置には，外乱振動を抑制するため除振装置が搭載されている．性能評価の一つに固有振動数(以下，固有値)がある．この固有値がより小さい除振装置ほど外乱振動の抑制能力が高い．本稿では，固有値を低下させる制御的手法の一つとして圧力微分フィードバックを取り上げる．微分フィードバックであるため高周波ノイズや配管共振などにより圧力応答の発振が起こる．これを抑制するためにフィルタを挿入することで更なる効果があることを示す．次に，機械的手法として逆テーパ付き空気ばねについて取り上げる．従来，これは受圧面積の変化だけで説明されてきた．しかし，機械ばね定数自身の変化や振幅依存性といった面積変動だけでは説明のつかない特性をもつことがわかった．そこでこれらを説明する一つのモデルを提案する．