地震発生時における空圧式除振装置の制御切替え方法に関する研究

峰尾 浩一; 論手 孝至; 涌井 伸二; 中村 幸紀

doi:10.11511/jacc.57.0_628

第57回自動制御連合講演会

セッションID: 1A08-3

DOI https://doi.org/10.11511/jacc.57.0_628

会議情報

主催: 公益社団法人計測自動制御学会, 一般社団法人日本機械学会, システム制御情報学会, 一般社団法人電気学会, 公益社団法人化学工学会, 公益社団法人精密工学会, 一般社団法人日本航空宇宙学会

共催: 国立大学法人群馬大学, 53の学会，協会などから協賛

会議名: 第57回自動制御連合講演会

開催地: 群馬伊香保　ホテル天坊

開催日: 2014/11/10 - 2014/11/12

OS モーションコントロール(1)

地震発生時における空圧式除振装置の制御切替え方法に関する研究

*峰尾浩一, 論手孝至, 涌井伸二, 中村幸紀

著者情報

キーワード: 空圧式除振装置, 制御切替え

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抄録

半導体露光装置に用いられている空圧式除振装置は，地震発生時に装置を停止することで機械を保護している．本論文は除振台遠方に設置した三つの地震動観測地点を用いて，除振装置の制御を低高周波地震向けにそれぞれ切替え，地震動をやり過ごすことを目的とする．この提案方法によって，論手らよりも半導体露光装置の通常稼働時間が確保できることを示す．

責任著者(Corresponding author)

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