ζ-factor法を用いた鉱物のTEM-EDS定量分析

抄録

鉱物の組成について、ζ-factor法を用いたTEM-EDSの定量分析を行った。得られた定量値は、珪酸塩鉱物、酸化物ともに酸素を含めて概ね良い一致を示した。また、硫化鉱物もまた良い値を示した。ただし、Ti、V、Cr、Mn（、Fe）を含む試料の場合、各元素のLa線、 Ll線が、酸素のK線と重なるため、酸素の定量分析には注意が必要であると思われる。