日本音響学会誌
Online ISSN : 2432-2040
Print ISSN : 0369-4232
空気負荷による微小カンチレバー振動子の動特性遷移
筒井 壽博高藤 圭一郎宮永 喜一郎秋山 光庸杉山 均
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1996 年 52 巻 7 号 p. 510-515

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抄録

カンチレバー長さが数ミリメートルのオーダに設定された平板状の微小振動子は, 材料や厚さにもよるが振動数がkHzのオーダに入る。このような高速振動する微小振動子が圧電バイモルフファンのように空気を駆動し得るかどうかはまだよく知られていない。本研究は1〜3kHzの共振振動数でカンチレバー状に弾性振動するユニモルフ振動子を対象に真空中と大気中の振動特性からエネルギー収支に及ぼす空気の影響について実験解析を行った。その結果このような微小スケールにおいても振動子は空気を駆動しておりその反作用として振動子の動特性が遷移し, 構造体と流体との典型的な連成問題として捉えられることを確認した。

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© 1996 一般社団法人 日本音響学会
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