超電導磁気浮上搬送装置の評価:水平方向の改善と搬送評価

抄録

近年、半導体の製造環境では、微細な塵の存在が半導体の歩留まり向上のための問題となり、磁気浮上の搬送系への利用が注目されてきている。本研究では容易に強い浮上力が得られる超電導体のピン止め力を用いた無摩擦、無発塵の磁気浮上搬送装置を提案し、評価を行ってきた。また、より大きな浮上力を得るため浮上側永久磁石と極を対向させた永久磁石を用いて反発力を利用し、このときの特性を求めてきた。 しかし、反発磁石を用いたことにより垂直方向には大きな浮上力を得ることができたが、水平方向にはあまり改善がみられなかった。そこで、磁場を考慮した永久磁石の増加や新たな制御系を用い、水平方向の動特性改善を目指す。