光反射干渉法によるDLC薄膜形成過程のその場モニタリング

抄録

薄膜の中で近年注目されているものにダイヤモンドライクカーボン（DLC）薄膜がある．このDLC薄膜はガス遮断性，潤滑性，耐摩耗性，電気絶縁性などに優れており，その形成には主にプラズマCVD法が用いられる．本研究では，炭化水素プラズマを用いたDLC薄膜のCVDプロセスの簡便なその場モニタリングシステムを確立することを目的として，レーザを用いた反射干渉測定法により，成膜速度，膜厚および膜屈折率を簡易的にモニタリングする実験を行った．