オゾン処理カーボンナノチューブを用いたZnOナノ粒子修飾カーボンナノチューブガスセンサによるNO₂検出：（1）センサ作製法

抄録

　カーボンナノチューブは多くの優れた特性を持ったナノ材料であり、ガスセンサとしての応用が大いに期待されている。著者らの研究グループでは、誘電泳動によってマイクロ電極間にナノマテリアルを集積する方法（誘電泳動集積法）を開発した。誘電泳動集積法により電極間にカーボンナノチューブや金属ナノ粒子を集積した抵抗変化型センサを作成し、常温での二酸化窒素や水素の検出に成功している。その中でもZnOナノ粒子を修飾することで、二酸化窒素に対して急激な抵抗上昇の後減少する応答を取得した。本研究ではこのセンサのさらなる応答量の増加・反応速度の向上のため、オゾン処理したカーボンナノチューブを用いてセンサを作製した。