我々は、NO2検出の高感度化に向けpn接合を多く含むSnO2/CNTガスセンサを、1step誘電泳動集積法を用いて作製てきた。1step誘電泳動集積法とは、超音波分散したSnO2とCNTの混合懸濁液を櫛歯電極上に滴下し交流電界をかけることで電極間に粒子を集積させる手法である。本研究では、集積時に用いる溶液中のCNT量を固定し、CNT中の炭素に対しSnO2のモル比がC [molar]:SnO2 [molar] = 1:1から1:100の間で変化させた。また比較のためにCNT単体のセンサとSnO2単体のセンサも同様に作製し、発表ではこれらのNO2応答特性をSEM、EDXによる評価を交えて考察する。
