抄録
AlBr3, N2, H2及びArからなる反応混合ガスを用いるプラズマCVDにより, 黒鉛基板上に均一な密着性のよい窒化アルミニウム (AlN) 膜がコーティングされた. AlN被覆黒鉛試料 (15×10×1mm) の耐酸化性試験を空気中 (相対湿度: 約50%) で, 室温-1200℃の温度範囲で行った. 熱重量分析の結果, 試料の耐酸化性はAlN膜の配向性と膜厚に依存することが分かった. c軸配向性の高いAlN厚膜 (膜厚>15μm) で均一にコーティングを行うと, 1200℃においても黒鉛基板の酸化は認められなかった.
1050°-1200℃の高温では, これらの配向性AlN膜は, 放物線則に従う酸化挙動を示し, 表面のα-Al2O3層はAlN膜の酸化に対して不働態膜として働くことが確認された. しかし, 低配向性のAlN膜は, 1200℃で酸化時間とともにほぼ直線的に酸化され, 黒鉛の耐酸化性膜としては適さない.
© The Ceramic Society of Japan