アモルファスSiO<SUB>2</SUB>/Si (001) 界面の結晶相のアニール依存性

日本結晶学会誌

Online ISSN : 1884-5576
Print ISSN : 0369-4585
ISSN-L : 0369-4585

アモルファスSiO₂/Si (001) 界面の結晶相のアニール依存性

置田尚吾, 高橋功, 淡路直樹, 杉田義博

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1996 年 38 巻 Supplement 号 p. 34

DOI https://doi.org/10.5940/jcrsj.38.Supplement_34

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