エレクトロニクス実装学会誌
Online ISSN : 1884-121X
Print ISSN : 1343-9677
講座「ちょっとMEMS」第15回
ナノインプリント技術を活用した配線パターンの製作(2)
Ni型を用いたSU-8レジストへの熱・光併用インプリント
尹 成圓高橋 正春
著者情報
ジャーナル フリー

2009 年 12 巻 4 号 p. 351-354

詳細
記事の1ページ目
著者関連情報
© 2009 一般社団法人エレクトロニクス実装学会
前の記事 次の記事
feedback
Top